X熒光光譜儀是由探測器、X光管、處理器以及濾光片幾大部分構成。

a.探測器

探測器可謂是X熒光光譜儀的心臟部分了，而依分辨率高低檔次由低至高常用的探測器有NaI晶體閃爍計數器，充氣（He,Ne,Ar,Kr,Xe等）正比計數管器、HgI2晶體探測器、半導體致冷SiPIN探測器、高純硅晶體探測器、高純鍺晶體探測器、電致冷或液氮致冷Si（Li）鋰漂移硅晶體探測器、Ge（Li）鋰漂移鍺探測器等。

目前常用的是電致冷或液氮致冷Si（Li）鋰漂移硅晶體探測器、SiPIN探測器、高純硅晶體探測器。探測器的性能主要體現在對熒光探測的檢出限、分辨率、探測能量范圍的大小等方面。

b.X光管

X光管也X熒光光譜儀的核心部件。大多數X熒光光譜儀廠商奉行拿來主義，做的就是組裝貼個品牌的工作。其性能壽命和分別的成本一般是5000小時合幾千美金。而高檔的X光管壽命一般在10年以上，成本當然也高達10多萬人民幣；就檢測器SiLi電制冷的，壽命同樣會在10年以上，成本至少15萬人民幣。

c.處理器

分為兩種：數字脈沖處理器和模擬脈沖處理器，前者在數據處理處理上速度好。全數字脈沖處理快線路處理，容許死時間高達60%。

可采集大容量計數，可減少采集時間的數字與傳統的模擬是兩代處理器技術，技術水平一般差十年。模擬脈沖處理器一般信號處理模式，死時間僅容許30%。不能進行高通量信號處理，為獲得大的計數必須延長采集時間。

d.濾光片

濾光片多，可以有選擇的降低信噪比，對痕量分析十分有用。

以上就是一款X熒光光譜儀的構成部分。